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迷你攪拌燒結爐
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高溫真空熔鹽電鍍爐
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高溫PECVD系統(tǒng)
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PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）
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流化床燒結爐
高溫熱蒸汽氧化時效爐
恒壓管式爐
迷你型流化床立式管式爐
開啟式高通量四通道管式爐
手套箱配套過渡爐
立式HVPE單晶生長系統(tǒng)
25工位真空氣氛管式爐
六溫區(qū)大管徑高溫生長爐
立式八通道高通量管式爐
三溫區(qū)立式管式爐（流化床FBCVD爐）
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