離子濺射鍍膜儀
發(fā)布時(shí)間： 2017-11-16 11:55:04 瀏覽次數(shù)：4844
設(shè)備簡(jiǎn)介：
NBD-LJ10專為掃描電鏡制作樣品而設(shè)計(jì)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便等特點(diǎn)。它不需要很 高的真空度就可以對(duì)掃描電鏡樣品進(jìn)行離子濺射，因此它可以作為掃描電鏡樣品鍍膜的基本設(shè)備。
主要特點(diǎn)： 1.采用4C靜音真空泵，各方面降噪，提升實(shí)驗(yàn)感受； 2.標(biāo)配樣品室真空表和濺射電流表，實(shí)時(shí)顯示和監(jiān)控儀器狀態(tài)； 3.邊緣橡膠密封圈，長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象。 4.配置濺射電流控制器和微型真空氣閥。結(jié)合自動(dòng)控制電路，輕松控制真空室壓強(qiáng)、電離電流，并可任意選擇所需電離氣體，以獲得很好的鍍膜效果； 5.標(biāo)配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸純金靶，濺射范圍更大；
技術(shù)參數(shù)：
1、真空腔體：Φ125（113）*126mm ；
2、試樣臺(tái)尺寸：Φ40nn；
3、樣品臺(tái)可調(diào)高度：65mm；
4、金靶尺寸：Φ58*0.12mm；
5、真空檢測(cè)：皮氏真空計(jì)；
6、真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空；
7、工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié) ；
8、濺射材質(zhì)：鐵、鈷、鉺；
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