CVDO1200-XT33G2F
發(fā)布時(shí)間： 2017-11-16 14:16:13 瀏覽次數(shù)：4615
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化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來(lái)沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。
| NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，非線性式樣溫度修正； | ||||||||
產(chǎn)品型號(hào) | NBD-O1200-XT33（爐管直徑50、60、80、100mm可選） | ||||||||
工作溫度 | ≤1150℃ | ||||||||
加熱區(qū)尺寸 | 200mm+400mm+200mm（三溫三控） | ||||||||
升溫速率 | ≤20℃/min | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC 380V 8KW | ||||||||
氣體系統(tǒng)（可選購(gòu)） | 流量計(jì)類型 | 浮子流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | ||||||
管道示意圖 |
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進(jìn)氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||
低真空系統(tǒng)（可選購(gòu)） | 真空泵型號(hào) | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||
抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||
進(jìn)排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||
極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||
高真空系統(tǒng)（可選購(gòu)） | 真空泵型號(hào) | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||
真空測(cè)量計(jì) | 復(fù)合真空計(jì) | ||||||||
極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||
* 支持非標(biāo)定做，更多型號(hào)，歡迎來(lái)電垂詢400-000-3746 | |||||||||
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