CVD系統(tǒng)HR1200-110TID3F
發(fā)布時間： 2018-11-27 16:40:54 瀏覽次數(shù)：4351
設(shè)備簡介：
化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用閥非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域；
該CVD系統(tǒng)主要由采用紅外加熱的快速熱處理爐（RTP）、氣體流量控制柜及真空泵組成，升溫速率可達300℃/秒。移動式加熱爐膛，可使熱處理后的樣品直接移動至室溫下。系統(tǒng)內(nèi)置熱疲勞測試功能，可根據(jù)實驗工藝設(shè)置熱疲勞測試參數(shù)，系統(tǒng)將自動運行。
| NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，非線性式樣溫度修正； | ||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-HR1200-110TI | ||||||||
工作溫度 | ≤1100℃ | ||||||||
加熱區(qū)尺寸 | 200mm | ||||||||
升溫速率 | ≤100℃/s | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC 380V 15KW | ||||||||
氣體系統(tǒng)（可選購） | 流量計類型 | 浮子流量計 | 質(zhì)量流量計 | ||||||
管道示意圖 |
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進氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | ||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min(多量程可選) | 50/100/200sccm(多量程可選) | |||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | ||||||||
低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||
抽氣速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||
進排氣口尺寸 | Φ8mm寶塔接頭 | Φ8mm寶塔接頭 | KF16/25 | ||||||
極限壓力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | ||||||||
高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||
真空測量計 | 復(fù)合真空計 | ||||||||
極限壓力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||
工作溫度 | 5-40℃ | ||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||
* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746 | |||||||||
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