射頻獨(dú)立系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間: 2020-04-11 16:57:55 瀏覽次數(shù):3220
設(shè)備簡介:
該射頻電源匹配器小巧、輕便,擁有空冷式設(shè)計(jì)。高質(zhì)量的組件和較少的零件數(shù)量使可靠性和產(chǎn)品使用壽命均得以提升,從而使您的投資和制程生產(chǎn)力得到有效的利用。一個(gè)直觀、快捷的操作菜單(可在該組件的多功能前面板上切換,并顯示在一個(gè)128?x?64像素的液晶顯示屏上)帶來了無比的便利性——提高了操作人員的效率,并使培訓(xùn)成本很低。此款設(shè)備配置13.56MHz的射頻輸出,可匹配普通型管式爐做等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)使用,是實(shí)驗(yàn)室做PECVD鍍膜的理想選擇。
該射頻電源匹配器小巧、輕便,擁有空冷式設(shè)計(jì)。高質(zhì)量的組件和較少的零件數(shù)量使可靠性和產(chǎn)品使用壽命均得以提升,從而使您的投資和制程生產(chǎn)力得到有效的利用。一個(gè)直觀、快捷的操作菜單(可在該組件的多功能前面板上切換,并顯示在一個(gè)128?x?64像素的液晶顯示屏上)帶來了無比的便利性——提高了操作人員的效率,并使培訓(xùn)成本很低。此款設(shè)備配置13.56MHz的射頻輸出,可匹配普通型管式爐做等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD)使用,是實(shí)驗(yàn)室做PECVD鍍膜的理想選擇。
基本參數(shù)
名稱 | 功率范圍 | 工作頻率 | 功率穩(wěn)定度 | 反射功率 | 保護(hù)設(shè)置 | 冷卻方式 | |
等離子體發(fā)生器 | 0-500W連續(xù)可調(diào) | 13.56MHz | ≤2W | 70W | DC過流保護(hù),功放過溫保護(hù),反射功率保護(hù) | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
* 此設(shè)備可與管式爐進(jìn)行匹配定制 |
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