小型CVD系統(tǒng)
發(fā)布時(shí)間： 2020-04-16 14:29:46 瀏覽次數(shù)：3376
氫氣還原爐1.png)
設(shè)備簡介：
化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。為此我們研發(fā)成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實(shí)驗(yàn)室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域；
| 1. 自動(dòng)循環(huán)抽真空清洗送氣； 2. 排氣端兩路自動(dòng)點(diǎn)火器，一路工作一路保護(hù)，保證可燃?xì)怏w充分燃燒以及設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行； 3. 管道自熄式防回火裝置，嚴(yán)格控制可燃?xì)怏w倒吸； 4. 多種工作模式可供選擇，亦可溝通定制； | ||
產(chǎn)品型號(hào) | NBD-2AQD | ||
| 控制系統(tǒng) |
| NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，非線性式樣溫度修正； | |
接口尺寸 | 1/4”雙卡套接頭 | ||
管道壓力 | -0.1-0.15MPa | ||
凈重 | 20KG | ||
設(shè)備使用注意事項(xiàng) | 1、 確保管道內(nèi)壓力＜0.15MPa； 2、 氣柜連接好氣瓶后要用肥皂水進(jìn)行檢漏測試； | ||
服務(wù)支持 | 一年保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件） | ||
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