多溫區(qū)CVD系統(tǒng)
發(fā)布時間： 2020-07-01 23:45:00 瀏覽次數(shù)：3107
設(shè)備簡介：
多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。
| 1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫性能優(yōu)越； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果優(yōu)越，降低設(shè)備功耗； 3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋； 4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自主生成，實驗數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)； | |||||||||||||||
產(chǎn)品型號 | 三溫區(qū) | 四溫區(qū) | 五溫區(qū) | 六溫區(qū) | ||||||||||||
爐管尺寸 | ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm | |||||||||||||||
工作溫度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||
加熱區(qū)選擇 (可定制） | 200mm*3 200+300+200mm 200+400+200mm 300mm*3 300+400+300mm | 200mm*4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm*4 300+400+400+300mm | 200mm*5 300mm*5 | 200mm*6 300mm*6 | ||||||||||||
升溫速率 | ≤20℃/min | |||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC380V 6~10KW | AC380V 8~14KW | AC380V 10~15KW | AC380V 12~18KW | ||||||||||||
氣體系統(tǒng)（可選購） | 浮子或質(zhì)量流量計（MFC） | |||||||||||||||
管道示意圖 |
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進氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | |||||||||||||||
流量范圍 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | |||||||||||||||
工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | |||||||||||||||
低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-3C/NBD-4C | ||||||||||||||
抽氣速率 | 3L/s或4L/s | |||||||||||||||
進排氣口尺寸 | KF16/25 | |||||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 3~5Pa（真空泵極限真空6.2*10-2Pa） | |||||||||||||||
工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V | |||||||||||||||
高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | |||||||||||||
抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | ||||||||||||||
真空測量計 | 復(fù)合真空計 | |||||||||||||||
系統(tǒng)真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | ||||||||||||||
工作溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 380V | ||||||||||||||
* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746 | ||||||||||||||||
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