主要特點(diǎn)：

1、射頻電源最大輸出功率：500W（連續(xù)可調(diào)），最大反射功率 70W；

2、出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！

3、異形高純石英爐管，大容量反應(yīng)空間；

4、獨(dú)有的旋轉(zhuǎn)（60檔精調(diào)設(shè)計(jì)）擺振結(jié)構(gòu)，保證物料與等離子體的充分接觸；

5、三路高精度質(zhì)量流量計(jì)（可依要求定制 ），集成混氣系統(tǒng)；

6、獨(dú)有進(jìn)出料設(shè)計(jì)，保證設(shè)備在結(jié)構(gòu)復(fù)雜狀態(tài)下的便捷進(jìn)出料；

7、射頻系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)擺振系統(tǒng)全面集成于一體，7英寸全觸屏操作，操作便捷、直觀；

8、可保存六組工藝參數(shù)，隨時(shí)調(diào)取；

9、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可自動(dòng)截圖，并支持USB接口導(dǎo)出。

電氣規(guī)格

AC220V    1.5千瓦

設(shè)備尺寸

W1300mm×H1250mm×D760mm；

Φ120*L300mm（可定制，管內(nèi)焊接三組攪拌擋板），非射頻區(qū)管徑：φ60mm；

翻轉(zhuǎn)速度

0.1～6轉(zhuǎn)/min（無(wú)極調(diào)速）；

翻轉(zhuǎn)傾角

-3°～+3° 最大傾倒角度30°

反應(yīng)腔壓力

5~80pa

法蘭結(jié)構(gòu)

航空鋁快開(kāi)模式；

操作系統(tǒng)

NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"真彩觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機(jī)對(duì)話模式；

電動(dòng)推桿功率

50W

RF 電源

輸出功率10～500W 任意連續(xù)可調(diào)，射頻頻率: 13.56MHz ±0.005% ，全自動(dòng)匹配；

真空測(cè)試

數(shù)字真空計(jì)獲取裝置；

真空獲取

NBD-4C機(jī)械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m3/h；

供氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量控制器（量程及標(biāo)定可定制）精度：±1%F.S；響應(yīng)時(shí)間：1-4秒；

設(shè)備細(xì)節(jié)

部分界面

凈重

約320KG

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1.射頻匹配器一般處于自動(dòng)匹配狀態(tài)，一般功率需達(dá)到50W以上才能匹配；

2.若采用手動(dòng)匹配，將功率設(shè)到60W左右，手動(dòng)調(diào)諧匹配合適時(shí)，再增加功率

3.工作時(shí)，需改變腔體的氣流量，先要要把功率設(shè)置為零，不能直接按“OFF”按鍵關(guān)閉射頻輸出。

服務(wù)支持

一年有限保修，提供終身支持；