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液氣CVD一體機(jī)
發(fā)布時間： 2022-10-29 09:01:19 瀏覽次數(shù)：1253
設(shè)備簡介：
諾巴迪液氣CVD一體機(jī)，通過高精度氧分析儀確保無氧工作環(huán)境。物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的石英腔內(nèi)，能夠在穩(wěn)定均勻的溫場內(nèi)，最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸。獨有懸掛式氣相發(fā)生器，能夠在工作腔擺振的同時，始終保持水平穩(wěn)定輸出。多路質(zhì)量流量控制器，可精確控制氣體流量。
高密封性連接工藝，確?？扇夹詺怏w及有毒有害氣體無任何泄露，高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍。易燃易爆及有毒有害氣體檢測儀與設(shè)備聯(lián)動，可及時獲取實時數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施，同時，兩個報警儀在超出設(shè)定警戒值時發(fā)出預(yù)警提示。工作腔室排出的尾氣通過尾氣處理罐進(jìn)行無害化處理。
| 1.通過高精度氧分析儀確保無氧工作環(huán)境； 2.物料在基于旋轉(zhuǎn)擺振結(jié)構(gòu)的異形石英腔內(nèi)，能夠在穩(wěn)定均勻的溫場內(nèi)，最大程度地與反應(yīng)氣體充分接觸； 3.獨有懸掛式氣相發(fā)生器，能夠在工作腔擺振的同時，始終保持水平穩(wěn)定輸出； 4.多路質(zhì)量流量控制器，可精確控制氣體流量； 5.高密封性連接工藝，確?？扇夹詺怏w及有毒有害氣體無任何泄露，高靈敏度壓力傳感器及電磁閥可保證工作腔室內(nèi)的壓力始終在設(shè)定范圍； 6.易燃易爆及有毒有害氣體檢測儀與設(shè)備聯(lián)動，可及時獲取實時數(shù)據(jù)并采取相應(yīng)閉合措施，同時，兩個報警儀在超出設(shè)定警戒值時發(fā)出預(yù)警提示； 7.工作腔室排出的尾氣通過尾氣處理罐進(jìn)行無害化處理。 | ||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N | ||||||||
供電電源 | 三相380V 50HZ | ||||||||
控溫精度 | ±1℃ | ||||||||
| 額定功率 | 8KW | ||||||||
| 測溫元件類型 | K型熱電偶?250mm | ||||||||
| 最高溫度 | 1100℃ | ||||||||
| 加熱溫區(qū)尺寸 | φ150*430mm | ||||||||
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 | ||||||||
| 爐管容積 | 5L | ||||||||
| 樣品有效容積 | 500ml | ||||||||
| 傾斜角度 | -20度（出料）~3度（進(jìn)料） | ||||||||
| 爐管轉(zhuǎn)速 | 0.1~12.6轉(zhuǎn)/每分鐘 | ||||||||
| 爐體尺寸 | 長1550×深830×高1360mm（含乙炔報警器2160mm） | ||||||||
推薦升溫速率 | 10℃/min | ||||||||
重量 | 約260KG | ||||||||
| 控制系統(tǒng) |
| 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； | |||||||
* 支持非標(biāo)定做，更多型號，歡迎來電垂詢400-000-3746 | |||||||||
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