設(shè)備特點(diǎn)

1、六溫三控加熱系統(tǒng)，溫場(chǎng)分布更均勻；
2、高純硅碳棒加熱，最高工作溫度1380℃，可滿足更多CVD領(lǐng)域需求；
3、六路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)氣體控制，同時(shí)設(shè)置有真空系統(tǒng)配合進(jìn)出氣系統(tǒng)使用，可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)抽真空-補(bǔ)氣循環(huán)流程，以最快的速度排空腔體內(nèi)部的氧氣；
4、電動(dòng)開(kāi)蓋系統(tǒng)，方便爐管的維護(hù)及更換；
5、4.3英寸彩色觸摸液晶屏，并支持多種工作模式的高精密注射泵，可以根據(jù)客戶需要選擇不同容積的針管進(jìn)行試樣的注射；同時(shí)可以跟隨工藝曲線設(shè)置注射泵的開(kāi)關(guān)，無(wú)需后期的人為操作，操作方便性大大提升；
6、PLC自動(dòng)化控制系統(tǒng)集成了設(shè)備上所有的控制，包含加熱和各種動(dòng)作都能夠在屏幕上進(jìn)行操作，并且能夠跟隨工藝曲線設(shè)置不同的進(jìn)氣和流量的設(shè)置，可以實(shí)現(xiàn)不同工藝下的快速組合，并且支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出及預(yù)存和調(diào)用配方功能。

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-T1500-200T66D6Z

供電電源

三相380V 50HZ

控溫精度

±1℃

額定功率

36KW

傳感器類型

S型熱電偶

極限溫度

1500℃

1380℃

高純硅碳棒

260*240*1430mm

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅

5-10ml/小時(shí)

推薦升溫速率

內(nèi)徑φ180mm，壁厚10mm，長(zhǎng)2150mm

長(zhǎng)3700×深1000×高1420mm

電動(dòng)開(kāi)合 最大角度45度

物料收集系統(tǒng)：

1、通過(guò)不銹鋼波紋管與碳化硅爐管相連，有效保護(hù)高溫工作中的碳化硅爐管；
2、高純石英觀察窗，可隨時(shí)觀察物料收集狀態(tài)；
3、手動(dòng)閥和電磁閥雙重保障，確保出氣控制穩(wěn)定運(yùn)行；
4、收集腔室內(nèi)部配置多孔收集板，可提高物料收集效率；
5、收集系統(tǒng)通過(guò)手輪調(diào)節(jié)與爐管的距離，并可通過(guò)旋轉(zhuǎn)與爐體保持一定角度，方便物料的取出。

高精密注射泵：

采用4.3英寸彩色觸摸液晶屏，方便快速設(shè)置參數(shù)，多個(gè)指示燈清晰確認(rèn)其工作狀態(tài)，支持多種注射器型號(hào)選擇，可適應(yīng)不同實(shí)驗(yàn)流量需求，高精度控制，并設(shè)有軟硬保護(hù)機(jī)制，支持注射、抽取等四種工作模式。
內(nèi)置RS485通訊，支持Modbus協(xié)議，寬范圍電源輸入，適應(yīng)各種場(chǎng)合。單通道、雙通道、多通道可供選擇。

六路質(zhì)量流量控制器（6MFC）混氣系統(tǒng)

約660KG

服務(wù)支持

1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如石英制品和密封圈等）