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高溫TMDs 沉積一體機

發(fā)布時間: 2023-06-13 16:28:03    瀏覽次數(shù):998

設備簡介:

該設備主要應用于過渡金屬二硫化物材料制備。設備分兩個溫區(qū),高溫區(qū)用于硫粉的蒸發(fā),低溫區(qū)用于MoO3的蒸發(fā)及硫化物的沉積。適當調(diào)整襯底和蒸發(fā)源的距離、蒸發(fā)溫區(qū)的溫度及進氣流量,可得到大面積的單層二硫化物材料。

本設備仍可作為滿足實驗參數(shù)的常規(guī)CVD設備使用。


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1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化,使試驗方便快捷直觀。
2.配置兩路質(zhì)量流量計混氣氣路,可以單獨設置氣體流量。
3.精確PID程序多段控制,實現(xiàn)不同工藝多段溫度時間監(jiān)控。
4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果極佳。
5.配備機械泵或分子真空泵,可以實現(xiàn)不同的真空條件。

爐體尺寸

1100mm×1250mm×750mm(×高×深)

剛玉管尺寸

Φ80*1000mm

主控升溫速率

建議≤10℃/min

使用溫度

1200℃以下可長期使用

控溫精度

±1℃

最高溫度

1100℃

加熱元件

高溫合金絲

加熱功率

5KW

主控爐膛材料

高純多晶纖維復合耐火保溫層

主控爐膛模式

開啟式

密封方式

不銹鋼密封法蘭

測溫元件

K型熱電偶

加熱溫區(qū)長度

雙溫 210mm*2

操控模式

NBD-101E嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7英寸真彩觸屏輸入,智能式人機對話模式;

溫度曲線設置

主加熱可預存15條溫度曲線,每條曲線可設置30段"時間—溫度曲線",實時監(jiān)控,動態(tài)真實顯示“時間-溫度曲線”

溫度校正

主控控溫溫度和試樣溫度的差值,系統(tǒng)全程進行非線性修正(詢問客戶常用溫度點,做特別效驗)

真空泵類型

直聯(lián)旋片式真空泵(雙級旋片)

抽氣速率

4(L/s)

進排氣連接口

KF16/25(mm)

用油量

0.6~1L

電機轉(zhuǎn)速

1440(rpm)

工作環(huán)境溫度

5~40℃

噪音(dB)

≤56

真空計類型

數(shù)顯真空計

系統(tǒng)真空

3~5pa (另選配分子泵可達6.3*10-3pa)

流量計類型

2路質(zhì)量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根據(jù)客戶需求選擇流量范圍

氣路管芯

專用不銹鋼氣體管道(1/4")

調(diào)節(jié)閥類型

手動調(diào)節(jié)閥

管道常態(tài)

常閉

測量精度

±1.0%F.S

精度保證溫度

15~35℃

系統(tǒng)保護

超溫報警,過流保護,斷偶提示

電氣規(guī)格

220V?50Hz 5KW

隨機產(chǎn)品配置

石英爐管1 ,爐塞1套 ,爐鉤一只,說明書1份;隨機工具等。

服務項目

運輸及保險費,包裝費,安裝及技術服務費; 提供12個月質(zhì)保,觸控系統(tǒng)24個月,終身保修。

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設置:動態(tài)顯示設置曲線,設備燒結(jié)可預存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設置;
2、可預約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導出實現(xiàn)無紙記錄;
4、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進行非線性修正
。

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