三溫區(qū)梯度爐
發(fā)布時間: 2023-11-11 14:50:22 瀏覽次數(shù):1006
設(shè)備簡介:
三溫區(qū)梯度爐為滿足各類CVD工藝的要求,我們將多個溫區(qū)的控制儀表全部融合到了智能控制系統(tǒng)里邊,您只需通過輕輕點擊觸摸屏即可完成所有的參數(shù)設(shè)定。在滿足不同溫區(qū)梯度控制的同時,還可將多個溫區(qū)設(shè)定為同一溫度點,作為加長的單溫區(qū)使用。它延續(xù)了開啟式管式爐的經(jīng)典設(shè)計,美觀與實用同在!
設(shè)備特點: 1、雙層鋼結(jié)構(gòu); 2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料,最大節(jié)約能源; 3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長使用壽命; 4、氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立自定義的溫度梯度。 | ||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-O1200-50T3GF | |||||||
Tmax | 1200℃ | |||||||
額定溫度 | 1150℃ | |||||||
供電電源 | 220V 50HZ | |||||||
額定功率 | 2.6KW | |||||||
溫區(qū)長度 | 100+200+100mm | |||||||
長期使用溫度范圍 | 300-1150℃ | |||||||
溫區(qū)數(shù)量 | 三溫單控 | |||||||
升溫速率 | 1℃/H-20℃/Min | |||||||
傳感器類型 | K型熱電偶 | |||||||
爐管長度 | 50*1000mm | |||||||
爐體尺寸 | 長600*高550*深370mm | |||||||
控制系統(tǒng) | 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; 2、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié); 3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄; 4、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài); 5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進行非線性修正。 | |||||||
溫度精度 | ±1℃ | |||||||
加熱元件 | Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | |||||||
密封系統(tǒng) | ||||||||
真空度:10Pa(機械泵) | ||||||||
壓力測量與監(jiān)控 |
| 采用機械壓力表,表外殼為氣密型結(jié)構(gòu),能有效保護內(nèi)部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。 | ||||||
供氣系統(tǒng) |
| 采用浮子流量計控制氣體流速,與設(shè)備一體化,方便控制,且出廠前已進行漏氣測試工作。 | ||||||
凈重 | 48kg | |||||||
設(shè)備使用注意事項 | 1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2、爐膛連續(xù)使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正常現(xiàn)象,不影響設(shè)備的正常使用; | |||||||
服務(wù)支持 | 一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件。) |
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