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C晶體(金剛石)

發(fā)布時間: 2024-03-25 14:46:58    瀏覽次數(shù):541

產(chǎn)品介紹:

金剛石是具有較寬帶隙的半導(dǎo)體,除部分近紅外,金剛石晶體具有從X射線到微波整個波段高的透過率,兼?zhèn)涓哂捕雀邔?dǎo)熱率、高化學(xué)穩(wěn)走性和低膨脹系數(shù),是一種優(yōu)異的光學(xué)材料和電子器件。

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電子級單晶金剛石參數(shù)表

電子性能

數(shù)據(jù)

折射率(590nm)

2.4

電子遷移率(cm2/v.s)

4500

空六遷移率(m2N s)

3800

含量(EPR測得)

<5ppb

硼含量

<1ppb

電子性能

數(shù)據(jù)

電阻率(2.cm)

>100

介電常數(shù)

5.5

介電損耗

<2x104

熱學(xué)性能

數(shù)據(jù)

熱導(dǎo)率(300KWm:K)

1000~2200

櫨膨脹系數(shù)(x10-rC)

1(室溫)

機械性能

數(shù)據(jù)

斷裂強度

2.5~3GPa

斷裂韌性(Pam)

1~8

楊氏模量

1050GPa

硬度

70~120 GPa

摩擦系數(shù)

0.1



品名規(guī)格

實驗室培育金剛石

尺寸規(guī)格

10mm*10mm*0.4m

備注

工藝方法

MPCVD

外觀標準

清晰無雜質(zhì)

判定OK/NG

序號

項目

檢測工具/結(jié)果

?

1

*

卡尺

?

OK

2

橫向公差

?

+0.2/-0mm

?

3

厚度尺寸

卡尺

>0.3mm

OK

4

厚度尺寸

?

+0.01/-0.02mm

?

5

表面切痕

目測

OK

6

NV值檢測

拉曼光譜儀

2, 2

OK

7

多晶檢測

60倍被光鏡

OK

8

透光性

強光手電

能穿透

OK

9

重量

電子秤

0.10g

OK

10

摻雜量

N、B

N/A

11

晶體學(xué)

通常100%單扇區(qū)(100)

?

OK

12

橫向尺寸測量

向較小的一側(cè)

?

OK

13

邊緣、邊緣

激光切割,邊緣

?

OK

14

面朝向

(100)大面朝向

?

OK

15

邊緣激光切0

3°

?

OK

16

12面粗拋光糙度,Ra

拋光,Ra<30nm

?

OK

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