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高真空管式退火爐

發(fā)布時間: 2024-12-05 13:37:25    瀏覽次數(shù):201

高真空管式退火爐是一種能夠在高真空或受控氣氛環(huán)境下進行高溫處理的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、冶金、半導(dǎo)體、電子等領(lǐng)域。這種爐子通過精確控制溫度和環(huán)境條件,能夠在1500℃的高溫下實現(xiàn)材料的退火、燒結(jié)、合成等工藝。高真空環(huán)境可以有效防止氧化和其他不良反應(yīng),確保樣品在純凈條件下進行熱處理。

應(yīng)用領(lǐng)域:

1. 材料科學(xué):用于金屬、陶瓷、玻璃等材料的燒結(jié)和退火。

2. 冶金:用于鋼鐵、鋁合金、銅合金等的熱處理。

3. 半導(dǎo)體:用于半導(dǎo)體材料的生長、摻雜和退火。

4. 電子工業(yè):用于電子元件的制造和測試。

5. 科研與教育:適用于高校、研究所等科研單位進行材料科學(xué)、化學(xué)工程等領(lǐng)域的研究和教學(xué)實驗。

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產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品視頻
客戶應(yīng)用案例

設(shè)備特點:

1.高溫能力

?最高溫度:最高工作溫度可達1500℃,部分型號可達到更高溫度。

?快速加熱:采用高效硅碳棒為加熱元件,確??焖偕郎?,縮短加熱時間。

?溫度均勻性:爐內(nèi)溫度分布均勻,確保樣品在任何位置都能獲得一致的溫度環(huán)境。

2. 高真空環(huán)境

?真空度:能夠達到10^-5 Pa甚至更高的真空度,確保無氧環(huán)境下的高溫處理。
?真空計:實時監(jiān)測腔室內(nèi)的真空度,確保達到所需的真空水平。
3.
氣氛控制

?多種氣氛環(huán)境:支持空氣、真空、惰性氣體(如氮氣、氬氣)、還原性氣體等多種氣氛環(huán)境。
?氣氛控制系統(tǒng):配備先進的氣氛控制系統(tǒng),可以精確控制氣體流量和比例,確保氣氛環(huán)境的穩(wěn)定性和一致性。

4. 精確控制

?PID溫控系統(tǒng):采用先進的PID溫控系統(tǒng),支持多段程序控制,確保溫度控制精度高,可重復(fù)性好。
?實時監(jiān)測:配備高精度溫度傳感器,實時監(jiān)測和記錄爐內(nèi)溫度變化。

?超溫保護:內(nèi)置超溫保護功能,防止因溫度失控導(dǎo)致的安全事故。

5. 操作便捷

?觸摸屏控制界面:配備觸摸屏控制界面,支持數(shù)據(jù)記錄和遠程監(jiān)控,操作簡便。
?程序存儲:可以設(shè)置和保存多個加熱程序,方便重復(fù)使用。
6.安全設(shè)計

?多重保護措施:內(nèi)置超溫保護、過流保護等多重安全保護措施,確保操作安全。

?緊急停機功能:可以在異常情況下迅速切斷電源,保障人員和設(shè)備的安全。

?壓力釋放閥:配備壓力釋放閥,確保在超壓情況下自動釋放壓力,防止事故發(fā)生。

?泄漏檢測:配備壓力和氣體泄漏檢測裝置,實時監(jiān)測泄漏情況,確保安全。

設(shè)備名稱

高真空管式退火爐

規(guī)格型號

NBD-O1500-100TP2DZY-N

供電電源

三相380V 50HZ

額定功率

15KW

傳感器類型

單鉑銠 S型熱電偶

Tmax

1500℃

額定溫度

1450℃

溫區(qū)數(shù)量

單溫雙控

升溫速率

1℃/H-20℃/Min

爐膛空間

L640*H160*W140mm

爐管材質(zhì)及尺寸

高純剛玉 φ100*1200mm

質(zhì)量流量計

S500 5000SCCM φ6.35雙卡套 氮氣標定

進氣口規(guī)格

φ6.35雙卡套接頭

出氣口規(guī)格

φ8寶塔接頭

爐體尺寸

**mm  1400*1430*900mm

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守燒結(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄;
4、具有實現(xiàn)遠程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài);5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進行非線性修正。

溫度精度

±1℃

加熱元件


抗酸耐腐性能優(yōu)越的高純硅碳棒

密封系統(tǒng)

真空度:10Pa(機械泵)

壓力測量與監(jiān)控

采用機械壓力表,表外殼為氣密型結(jié)構(gòu),能有效保護內(nèi)部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。

凈重

350kg

設(shè)備使用注意事項

1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害;

2、爐膛連續(xù)使用產(chǎn)生的輕微裂紋屬于正?,F(xiàn)象,不影響設(shè)備的正常使用;

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關(guān)產(chǎn)品處訂購更換件)

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