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真空氣氛爐

發(fā)布時(shí)間： 2024-12-17 09:12:47 瀏覽次數(shù)：257

設(shè)備簡(jiǎn)介：

真空氣氛爐是一種專門設(shè)計(jì)用于在高真空或特定氣氛環(huán)境下進(jìn)行材料處理、熱處理和化學(xué)反應(yīng)的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體制造、新材料研發(fā)、化工等領(lǐng)域。該設(shè)備通過(guò)精確控制氣氛條件（如真空、惰性氣體、還原性氣體等）和溫度，確保材料在無(wú)污染條件下完成高效的處理過(guò)程。真空氣氛爐能夠顯著提高材料的質(zhì)量和性能，適用于對(duì)環(huán)境要求極高的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)過(guò)程。

應(yīng)用領(lǐng)域

1. 冶金：用于金屬粉末燒結(jié)、合金化處理等。

2. 半導(dǎo)體制造：用于電子元件的制造和測(cè)試，如硅片退火、擴(kuò)散等。

3. 新材料研發(fā)：用于新型材料的合成和處理，如納米材料、功能陶瓷等。

4. 化工：用于催化劑制備、化學(xué)反應(yīng)等。

5. 科研與教育：適用于高校、研究所等科研單位進(jìn)行材料科學(xué)、化學(xué)工程等領(lǐng)域的研究和教學(xué)實(shí)驗(yàn)。

	設(shè)備特點(diǎn)： 1. 高純度環(huán)境 ?高效真空泵：可選配高效真空泵系統(tǒng)，能夠在短時(shí)間內(nèi)將爐內(nèi)抽至高真空狀態(tài)（通常可達(dá)10^^-6 Torr），確保處理過(guò)程中無(wú)氧無(wú)污染。 ?氣氛控制系統(tǒng)：可以處理各種氣氛環(huán)境，如真空、惰性氣體（氬氣、氮?dú)猓?、還原性氣體（氫氣）等，滿足不同工藝需求。 2.均勻加熱 ?溫控精度：采用先進(jìn)的PID溫控系統(tǒng)，支持多段程序控制，確保溫度控制精度高，可重復(fù)性好。 ?溫度均勻性：通過(guò)優(yōu)化加熱元件布局和溫控系統(tǒng)，確保爐內(nèi)溫度分布均勻，避免局部過(guò)熱或冷點(diǎn)。 3. 精準(zhǔn)氣氛控制 ?氣氛切換裝置：允許在不同氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，如從一種氣氛切換到另一種氣氛。 ?氣體流量控制器：用于精確控制氣體流量和比例，確保氣氛環(huán)境的穩(wěn)定性和一致性。 ?壓力調(diào)節(jié)：部分型號(hào)配備壓力調(diào)節(jié)裝置，確保氣氛環(huán)境的壓力保持在設(shè)定范圍內(nèi)。 4. 安全設(shè)計(jì) ?多重保護(hù)措施：內(nèi)置超溫保護(hù)、過(guò)流保護(hù)、緊急停機(jī)按鈕等多重安全保護(hù)措施，確保操作安全。 ?泄漏檢測(cè)：配備壓力和氣體泄漏檢測(cè)裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泄漏情況，確保安全。 ?防爆設(shè)計(jì)：對(duì)于需要使用易燃?xì)怏w（如氫氣）的情況，具備防爆設(shè)計(jì)，確保極端條件下的安全性。 5. 操作便捷 ?觸摸屏控制界面：配備觸摸屏控制界面，支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄和遠(yuǎn)程監(jiān)控，操作簡(jiǎn)便。 ?用戶友好：具有友好的用戶界面，易于操作和維護(hù)。 ?預(yù)設(shè)程序：提供多種預(yù)設(shè)加熱程序和氣氛條件，方便用戶根據(jù)具體需求選擇合適的工藝參數(shù)。
設(shè)備名稱	真空氣氛爐
規(guī)格型號(hào)	VBF-1200（200200300）
供電電源	三相380V 50HZ
額定功率	45KW
溫區(qū)數(shù)量	單溫單控
傳感器類型	S型熱電偶φ8*300mm
浮子流量計(jì)	20-200L/min
Tmax	1300℃（使用溫度室溫下1200℃）
爐膛材料	304不銹鋼板+鉬板
爐膛尺寸	φ392*410mm
有效工作尺寸	長(zhǎng)200高200深300mm
推薦升溫速率	≤10℃/min
真空泵	BSV90 KF40接口（極限真空4Pa）
分子泵	進(jìn)氣口CF200，出氣口KF40（極限真空5*10^^-6Pa）
整機(jī)極限真空	6.7*10^^-3Pa（空爐、冷態(tài)）
爐體尺寸	長(zhǎng)1835高2040深1625mm
水冷機(jī)尺寸	長(zhǎng)706高1235深1035mm
控制系統(tǒng)				1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置； 2、可預(yù)約燒結(jié)，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)； 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄； 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控，實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。
溫度精度	±1℃
加熱元件			鉬帶加熱爐膛
壓力測(cè)量與監(jiān)控		采用浮子流量計(jì)控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體，且出廠前已進(jìn)行漏氣測(cè)試工作。
供氣系統(tǒng)		采用機(jī)械壓力表，表外殼為氣密型結(jié)構(gòu)，能有效保護(hù)內(nèi)部機(jī)件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時(shí)具有較強(qiáng)的耐腐蝕和耐高溫的能力。
凈重	約1215KG
設(shè)備使用注意事項(xiàng)	1.設(shè)備使用時(shí)，絕對(duì)壓力表讀數(shù)不要大于0.15MPa，以防止壓力過(guò)大造成設(shè)備損壞； 2.真空下使用時(shí)，設(shè)備使用溫度不得超過(guò)800℃。
服務(wù)支持	一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件）。

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