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立式HVPE單晶生長系統(tǒng)
發(fā)布時間: 2024-06-13 08:01:10 瀏覽次數:448
設備簡介:
立式淬火管式爐:優(yōu)質保溫材料由真空成形纖維板構成,具有低儲熱和低導熱性能,從而能降低設備的能耗和縮短加熱時間。通過配置不同的充氣套件可在不易燃或易燃保護或反應氣體條件下或在真空中運行。電動旋轉脫扣結構,淬火更安全,結構更穩(wěn)定。
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設備簡介: 立式淬火管式爐:優(yōu)質保溫材料由真空成形纖維板構成,具有低儲熱和低導熱性能,從而能降低設備的能耗和縮短加熱時間。 通過配置不同的充氣套件可在不易燃或易燃保護或反應氣體條件下或在真空中運行。 電動旋轉脫扣結構,淬火更安全,結構更穩(wěn)定。
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立式淬火爐由以下幾部分組成。
▲燒結系統(tǒng);
▲電控系統(tǒng);
▲脫扣系統(tǒng);
▲淬火系統(tǒng);
配置詳情
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設備特點:
1、MoSi2加熱元件懸吊安裝,易于更換;
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設備名稱 |
立式HVPE單晶生長系統(tǒng) |
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規(guī)格型號 |
NBD-LT1700-60TI-200 |
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Tmax |
1650℃ |
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供電電源 |
單相220V 50HZ |
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額定功率 |
5KW |
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加熱溫區(qū)尺寸 |
Φ220*210mm |
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進出氣系統(tǒng) |
Φ6.35內外拋光Ba級不銹鋼管 |
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爐管材質 |
剛玉管Φ60*1000mm |
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控溫精度 |
±1℃ |
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測溫元件類型 |
B型熱電偶,Φ8*150mm |
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爐管材質 |
剛玉管Φ60*1000mm |
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淬火罐內尺寸 |
Φ130*220mm |
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升溫速率 |
1℃/H-20℃/Min |
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進出氣系統(tǒng) |
帶電磁閥控制Φ6.35內外拋光Ba級不銹鋼管 |
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爐體尺寸 |
長1075*高1780*深610mm |
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控制系統(tǒng) |
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1、燒結工藝曲線設置:動態(tài)顯示設置曲線,設備燒結可預存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設置; 2、可預約燒結,實現無人值守燒結工藝曲線燒結; 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實現無紙記錄; 4、具有實現遠程操控,實時觀測設備狀態(tài); 5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進行非線性修正 |
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溫度精度 |
±1℃ |
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加熱元件 |
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高純硅鉬棒 |
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壓力測量與監(jiān)控 |
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采用機械壓力表,表外殼為氣密型結構,能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。 |
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供氣系統(tǒng) |
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采用浮子流量計控制氣體流速,與設備一體化,且出廠前已進行漏氣測試工作。 |
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電磁脫扣觀察窗 |
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達到設定溫度后,即可根據需要進行脫扣,通過觀察口可以十分清楚的看到整個脫扣過程; |
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凈重 |
260kg |
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設備使用注意事項 |
1、設備爐膛溫度≥300℃時,禁止打開爐膛,避免受到傷害; 2、設備使用時,爐管內壓力不得超過0.125MPa(絕對壓力),以防止壓力過大造成設備損壞; 3、真空下使用時,設備使用溫度不得超過800℃。 4、供氣鋼瓶內部氣壓較高,向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在選購試驗用小壓力減壓閥,減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。 5、當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓 相當,保持在常壓狀態(tài); 6、高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃ 7、加熱的實驗時,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,絕對壓力表讀數不要大于0.15MPa,必須立刻打開排氣端閥門,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)。 |
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服務支持 |
一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請在下面的相關產品處訂購更換件。) |
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