高溫PECVD系統(tǒng)
PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）
三溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
離子濺射儀
高功率PECVD系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)擺振）
雙爐膛滑軌式PECVD
射頻獨立系統(tǒng)
PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
等離子清洗機
離子濺射鍍膜儀
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